PME 5442-0

Brief

本課程透過微奈米技術的發展史, 一步一步帶領學生認識各種微奈米加工技術, 其中包含 黃光微影技術(Lithography), 電子束微影(E-beam Lithography), 離子束微影(Ion-beam Lithography), 反應式離子蝕刻(Reactive Ion Etching), 電鍍(Electroplating), 成型技術(Molding), 雙光子聚合(Two-Photon Polymerization) 期末並安排半導體相關企業或是國家實驗室參訪, 讓同學能對微奈米加工技術, 有所認識。

Description

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Timetable

Scores

Average GPA 3.71

Std. Deviation 0.4

Remarks

動機系博士班資格考科目及碩士班機設組必選科目

Restrictions

Compulsory

Elective

Cross Discipline

First Specialization

Second Specialization